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半导体测试液冷机组

半导体液冷机组主要用于高效精准地控制半导体制造、测试及高功率电子设备的温度

 

温度控制范围可扩展至-70~90℃；

完善的安全保护措施：压缩机过载保护、高、低压压力保护、排气温度过热保护、过载继电器、低液位保护、高温保护等；

节能：50℃以内加热方式采用压缩机热气加热；

耐腐蚀：本系统采用的循环管路材质为不锈钢304，具备优异的耐腐蚀性能；

精准控温：结合多变量解耦算法与电子膨胀阀动态调节，实现系统快速响应以及较高的控制精度，可达±0.1C。

半导体测试液冷机组
+
  • 半导体测试液冷机组

型号

BCS0020SNJB

BCS0030SNJB

BCS0040SNJB

BCS0060SNJB

BCS0080SNJB

BCS0100SNJB

BCS0150SNJB

控温范围

-25℃～90℃

控温精度

±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)

制冷量

At-15℃

2kW

3kW

3.8kW

5.6kW

7.5kW

10kW

15kW

加热功率

3kW

6kW

6kW

9kW

9kW

9kW

6kw*2

流量输出

At20℃

10L/min@5bar～25L/min@3bar

20L/min@5bar～50L/min@3bar

30L/min@5bar～70L/min@3bar

通信

Modbus RTU协议RS485接口，以太网接口TCP/IP协议。(选配CAN通信总线)

安全保护

具有自我诊断功能；压缩机过载保护、高、低压压力保护、排气温度过热保护、过载继电器、低液位保护、高温保护等多种安全保障功能。

是否为全密闭系统

整个系统为全密闭系统，高温时不会有水蒸气、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。

制冷剂

R404A

载冷剂

硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

外输出接口尺寸

1组进出液口，ZG1/2“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG3/4“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG1“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

水冷型 At20℃

1.3m³/h

ZG 3/4“

1.8m³/h

ZG 3/4“

2.5m³/h

ZG 1“

3.5m³/h

ZG 1“

5.5m³/h

ZG 1-1/4“

7m³/h

ZG 1-1/4“

10m³/h

ZG 1-1/2“

尺寸cm

40*95*110

40*95*110

40*95*110

45*100*150

45*100*150

65*120*160

65*120*160

重量(水冷)

220kg

240kg

260kg

300kg

320kg

400kg

450kg

电源

380V/50Hz

装机功率

6.5kW(MAX)

10kW(MAX)

12kW(MAX)

16kW(MAX)

18kW(MAX)

20kW(MAX)

28kW(MAX)

选配

自动加注防冻液系统，自动液体回收系统

 

型号

BCS0060SNAA

BCS0080SNAA

BCS0100SNAA

BCS0150SNAA

BCS0200SNAA

BCS0250SNAA

BCS0400SNAA

控温范围

5℃～90℃

控温精度

±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)

制冷量

At10℃

6kW

8kW

10kW

15kW

20kW

25kW

40kW

加热功率

3kW

6kW

6kW

9kW

9kW

9kW

6kw*2

流量输出

At20℃

10L/min@5bar～25L/min@3bar

20L/min@5bar～50L/min@3bar

30L/min@5bar～80L/min@3bar

通信

Modbus RTU协议RS485接口，以太网接口TCP/IP协议。(选配CAN通信总线)

安全保护

具有自我诊断功能；压缩机过载保护、高、低压压力保护、排气温度过热保护、过载继电器、低液位保护、高温保护等多种安全保障功能。

是否为全密闭系统

整个系统为全密闭系统，高温时不会有水蒸气、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。

制冷剂

R410A

载冷剂

硅油、氟化液、乙二醇水溶液、纯净水等（纯净水温度需要控制10℃以上）

外输出接口尺寸

1组进出液口，ZG1/2“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG3/4“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG1“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

水冷型 At20℃

1.5m³/h

ZG 3/4“

2m³/h

ZG 3/4“

2.5m³/h

ZG 1“

3.5m³/h

ZG 1“

4.5m³/h

ZG 1-1/4“

6m³/h

ZG 1-1/4“

9m³/h

ZG 1-1/2“

尺寸cm

40*95*110

40*95*110

40*95*110

45*100*150

45*100*150

65*120*160

65*120*160

重量(水冷)

220kg

240kg

260kg

300kg

320kg

400kg

450kg

电源

380V/50Hz

装机功率

6.5kW(MAX)

10kW(MAX)

12kW(MAX)

16kW(MAX)

18kW(MAX)

20kW(MAX)

28kW(MAX)

选配

自动加注防冻液系统，自动液体回收系统

 

型号

BCS0008SNJC

BCS0020SNJC

BCS0032SNJC

BCS0040SNJC

BCS0060SNJC

BCS0080SNJC

控温范围

-40℃～90℃

控温精度

±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)

制冷量

At-35℃

0.8kW

2kW

3.2kW

4kW

6kW

8kW

加热功率

3kW

6kW

9kW

9kW

9kW

6kw*2

流量输出

At20℃

10L/min@5bar～25L/min@3bar

20L/min@5bar～50L/min@3bar

30L/min@5bar～70L/min@3bar

通信

Modbus RTU协议RS485接口，以太网接口TCP/IP协议。(选配CAN通信总线)

安全保护

具有自我诊断功能；压缩机过载保护、高、低压压力保护、排气温度过热保护、过载继电器、低液位保护、高温保护等多种安全保障功能。

是否为全密闭系统

整个系统为全密闭系统，高温时不会有水蒸气、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。

制冷剂

R404A

载冷剂

硅油、氟化液、乙二醇水溶液等

外输出接口尺寸

1组进出液口，ZG1/2“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG3/4“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG1“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

水冷型 At20℃

1.8m³/h

ZG 3/4“

2.5m³/h

ZG 3/4“

3.5m³/h

ZG 1“

6m³/h

ZG 1-1/4“

7m³/h

ZG 1-1/4“

10m³/h

ZG 1-1/2“

尺寸cm

40*95*110

40*95*110

45*100*150

45*100*150

65*120*160

65*120*160

重量(水冷)

220kg

240kg

300kg

320kg

400kg

450kg

电源

380V/50Hz

装机功率

8.5kW(MAX)

14kW(MAX)

16kW(MAX)

20kW(MAX)

23kW(MAX)

28kW(MAX)

选配

自动加注防冻液系统，自动液体回收系统

 

型号

BCS0006SNID

BCS0010SNID

BCS0015SNID

BCS0020SNID

BCS0030SNID

控温范围

-70℃～90℃

控温精度

±0.1℃(可定制±0.01℃控温精度设备)

制冷量

At-70℃

0.6kW

1kW

1.5kW

2kW

3kW

加热功率

3kW

6kW

9kW

9kW

9kW

流量输出

At-40℃

7L/min@5bar～25L/min@3bar

12L/min@5bar～45L/min@3bar

通信

Modbus RTU协议RS485接口，以太网接口TCP/IP协议。(选配CAN通信总线)

安全保护

具有自我诊断功能；压缩机过载保护、高、低压压力保护、排气温度过热保护、过载继电器、低液位保护、高温保护等多种安全保障功能。

是否为全密闭系统

整个系统为全密闭系统，高温时不会有水蒸气、低温不吸收空气中水份，系统在运行中不会因为高温使压力上升，低温自动补充导热介质。

制冷剂

R404A+R23

载冷剂

氟化液

外输出接口尺寸

1组进出液口，ZG1/2“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

1组进出液口，ZG3/4“

（可选配多组进出液口，设备尺寸也会适量增大）

水冷型 At20℃

1.8m³/h

ZG 3/4“

2.5m³/h

ZG 3/4“

3.5m³/h

ZG 1“

6m³/h

ZG 1-1/4“

7m³/h

ZG 1-1/4“

尺寸cm

65*120*150

65*120*150

75*140*160

75*140*160

75*140*160

重量(水冷)

350kg

380kg

400kg

420kg

450kg

电源

380V/50Hz

装机功率

12kW(MAX)

16kW(MAX)

24kW(MAX)

28kW(MAX)

30kW(MAX)

选配

自动加注防冻液系统，自动液体回收系统